評価分析技術
１、表面清浄度分析
コンタミネーション… 洗浄後の金属イオン等の残留を確認します。
パーティクル… 洗浄後のパーティクルの残留を確認します。
２、デポ膜除去状態
洗浄前後のデポ膜の確認を行います。
３、部材の健全性確認・仕上がり評価
洗浄による部品へのダメージが無い事を確認するとともに、検査基準・要求度に適合した表面仕上がりを満たしているか確認します。
４、発生ガスの分析
洗浄後に部品表面に、真空環境下でガスとして発生する成分が残留しているか確認をします。
また、仕上げ洗浄後の乾燥条件の選定に用います。
これらの評価分析を行う際に、使用する代表的な分析装置として次のようなものを所有しています。
- プラズマ発光分光分析装置（ICP−AＥＳ)
- 膜厚計
- イオンクロマトグラフィー
- 粗度計
- 気中パーティクル測定装置
- 非接触高速３次元形状測定装置
- 液中パーティクル測定装置
- 高真空乾燥発生ガス分析装置
- デジタルマイクロスコープ
- 蛍光X線分析装置（ＸＲＦ／ＥＤＸ)
- 電子線マイクロアナライザー（ＳＥＭ／ＥＤＸ）
