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装置メーカ、溶射メーカ等とのco−workにより装置部品の耐プラズマ性の向上およびパーティクル低減を目指し、 表面改質に取り組んでいます。 また、表面改質処理後には精密洗浄を実施後、お客様に納品を実施しています。