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表面改質技術

装置メーカ、溶射メーカ等とのco−workにより装置部品の耐プラズマ性の向上およびパーティクル低減を目指し、
表面改質に取り組んでいます。
また、表面改質処理後には精密洗浄を実施後、お客様に納品を実施しています。

対象物品

  • アノダイズ品
  • 金属溶射品
  • セラミック溶射品