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精密洗浄技術

精密洗浄とは、部品表面に付着したデポ膜を溶解若しくは崩壊・剥離除去し
クリーン度の高い環境下において超純水および超音波等による仕上げ洗浄、評価分析技術による検査を組み合わせた技術です。

洗浄技術

(1) デポ膜除去洗浄技術
部品表面に付着したデポ膜を除去する方法として、以下の方法があります。

ⅰ) 化学洗浄法
化学薬品を用いてデポ膜主体の付着物を、溶解もしくは崩壊・剥離して除去する技術。
ⅱ) 物理洗浄法
物理的衝撃によりデポ膜主体の付着物を崩壊・剥離して除去する技術。
ⅲ) 組み合わせ洗浄法
セラミック部品全般を対象に薬品処理と電気炉処理の組合せによりデポ膜主体の付着物を除去する技術。

(2) 仕上げ洗浄技術
クリーンルーム内において超純水および超音波洗浄を行い、クリーンオーブンで乾燥を行う。

(3) 仕上り検査
・寸法、歪み、肉厚、穴径等の測定
・表面粗度
・出ガス測定
・アノダイズ製品の膜厚測定
・アッパーチャンバー、イオンソース、バルブ、配管などのリークチェック

高度洗浄技術

(1) 高度洗浄技術
最先端の半導体装置の線幅のクリーン度に適応した総合的かつ高度なコンタミネーション除去技術を用いて
部品表面に残留する金属イオンおよびパーティクルの低減を目指した技術です。

(2) 仕上り検査
・寸法、歪み、肉厚、穴径等の測定
・表面粗度
・アノダイズ製品の膜厚測定
・表面パーティクルの測定
・表面残留イオンの測定
・表面形状検査